功能
在传统C-V测试仪基础上,仪器新增电化学腐蚀功能,待测样品接触电解液,外加直流电压,正极接触待腐蚀样品,负极接不被溶解且导电性良好的电极,通电后样品表面在电场和电解液的作用下逐渐被氧化、腐蚀,从而使仪器具备边腐蚀边测量的纵向载流子浓度分布测试能力。
主要技术指标
(1)测试范围:1015-1023/cm3;
(2)刻蚀深度:0.01-15µm;
(3)测试频率:0.3-50kHz;
(4)偏置电压:±10V;
(5)偏置光源:石英卤素灯,强度可调。
在传统C-V测试仪基础上,仪器新增电化学腐蚀功能,待测样品接触电解液,外加直流电压,正极接触待腐蚀样品,负极接不被溶解且导电性良好的电极,通电后样品表面在电场和电解液的作用下逐渐被氧化、腐蚀,从而使仪器具备边腐蚀边测量的纵向载流子浓度分布测试能力。
(1)测试范围:1015-1023/cm3;
(2)刻蚀深度:0.01-15µm;
(3)测试频率:0.3-50kHz;
(4)偏置电压:±10V;
(5)偏置光源:石英卤素灯,强度可调。