功能
用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要参数。这些参数是了解半导体材料电学特性必须预先掌握的,是理解和研究半导体器件和半导体材料电学特性必备的工具。
主要技术指标
(1)磁场强度:4600高斯;
(2)测试温度:77K、273K可选;
(3)输出电流精度:2nA;
(4)输入电压范围:100nV-300V;
(5)自适应弹簧探针及夹具;
(6)可用于Si、ZnO、SiGe、SiC、GaAs、InGaAs、InP、GaN等半导体材料测试。
用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要参数。这些参数是了解半导体材料电学特性必须预先掌握的,是理解和研究半导体器件和半导体材料电学特性必备的工具。
(1)磁场强度:4600高斯;
(2)测试温度:77K、273K可选;
(3)输出电流精度:2nA;
(4)输入电压范围:100nV-300V;
(5)自适应弹簧探针及夹具;
(6)可用于Si、ZnO、SiGe、SiC、GaAs、InGaAs、InP、GaN等半导体材料测试。